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晶圆搬送机 AL120-12
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自动300mm晶圆搬送机


AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。

**且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和**。


人机工程学设计，操作方便 
• 可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。 
• 分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型。


坚固、可靠和**传送 
• 延续了上一代机型的坚固性、可靠性和**性，能够**可靠的传送300 mm晶圆。 
• 薄片，Warped晶圆皆能**搬送。 
• 宏观观察位置的*优化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作舒适性。