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研究型原子力显微镜 Park XE7
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研究型原子力显微镜


Park XE7配有Park Systems的所有**技术，而且价格十分亲民。与Park Systems的其他上等型号相比，XE7在细节的设计上也相当用心，是帮助您准时且不超预算地完成研究的理想之选。


高性能原子力显微镜
在同级产品中，Park XE7能够带来高纳米级分辨率的测量效果。得益于独特的原子力显微镜架构，即独立的XY轴和Z轴柔性扫描器，XE7能够实现平滑、正交且线性的扫描测量，从而**成像和测量样品的特征。此外，Park所独有的True Non-Contact™模式还能为您带来****的图像效果，探针可以在多次扫描后图像的分辨率仍不会受影响。
满足当前和未来的需求
在Park XE7的帮助下，现在与未来皆在您的掌控中。Park XE7带有业内多种测量模式。这些模式不仅能满足您目前的需求，也考虑到未来不断变化的需求。再者，XE7具有市场上*开源的设计，允许您整合其他附件和仪器，从而满足您特殊的研究需求。
易于使用
Park XE7拥有简洁的图形用户界面和自动化工具，即便是初学者也可以快速地完成对样品的扫描。无论是预准直探针、简单的样品和探针更换、轻松的激光准直、自上而下的同轴视角以及用户友好型扫描控制和软件处理，XE7能够全力推动研究生产力的提高。
创新研究的经济之选
Park XE7不仅仅是*经济实惠的研究级原子力显微镜，也是总体成本*低的原子力显微镜。Park XE7中所搭载的True Non-Contact™模式让用户无需频繁更换昂贵的探针**，并且它配有业内*多的扫描模式，兼容性优良，让您可随时升级系统功能，从而延长产品的使用寿命。

Park XE7通过消除扫描器串扰进行准确的XY扫描

Park Systems的先进串扰消除(XE)扫描系统能够有效解决上述问题。我们使用了二维柔性平台专门扫描样品的XY轴位置，并通过压电叠堆传动装置专门扫描探针悬臂的Z轴位置。用于XY轴扫描的柔性平台采用了固体铝材，其具有超高的正交性和出色的平面外运动轨迹。柔性平台可在XY轴扫描大型样品（1 kg左右），频率*高达100 Hz左右。由于XY轴的带宽要求远低于Z轴的带宽要求，因此该扫描速度已然足够。用于Z轴扫描的压电叠堆传动装置具有大的推拉力和高共振频率（约10 kHz)。


XE scan system


适用于样品和探针**的独立XY轴和Z轴柔性扫描器 

XY flexure scanner


平直正交的XY轴扫描，残余弯曲低

 XE-Peformence



图9. (a)表示Park Systems XE系统的背景曲率为零，而(b)是传统的原子力显微镜系统的管式扫描器的典型背景曲率，(c)展示了这些背景曲率的横截面。
图9展示了XE系统(a)和传统原子力显微镜(b)扫描硅片时，未处理的成像图。由于硅片属于原子级光滑材料，因此图像中的弯曲大多数是扫描器所引起的。图9(c)展示了图9中(a)(b)图像的横截面。由于管式扫描器本身带有背景曲率，因此当X轴的位置移动15 μm时，平面外移动*大可达80 nm。而在相同的扫描范围内，XE扫描系统的平面外移动则不超过1 nm。XE扫描系统的另一大优势是Z轴伺服回应。图10是XE扫描系统在无接触模式下拍下的一个多孔聚合物球体（二乙烯苯）的图像，其直径大约为5 µm。由于XE扫描系统的Z轴伺服回应极其精准，探针可以**地沿着聚合物球体上的大曲率以及小孔平面结构移动，而不会压碎或粘连在其表面上。图11是Z轴伺服回应在平坦背景上高性能的表现。

     

Best Life, by True Non-Contact™ Mode

在True Non-Contact™模式中，探针**与样品的距离在相互原子力的控制下，被成功地控制在几纳米之间。探针**振动幅度下，大大减少了探针与样品的接触，从而完好地保护了探针和样品。

True Non-Contact™ Mode

· 探针磨损更低=高分辨率扫描更长久
· 无损式探针-样品接触=样品变化程度*小
· 避免参数依赖

Tapping Imaging

· 探针磨损更快=扫描图像模糊
· 破坏性探针-样品接触=样品受损变化
· 高参数依赖性

Longer Tip Life and Less Sample Damage

原子力显微镜探针的**十分脆弱，这使得它在接触样品后会快速变钝，从而限制原子力显微镜的分辨率和图像的质量。对于材质较软的样品，探针会破坏样品，导致其高度测量不准确。相应地，探针保持完整性意味着显微镜可以持续提供高分辨率的**数据。XE系列原子力显微镜的真正非接触模式能够极大程度保护探针，从而延长其寿命，并减少对于样品的破坏。下图中以1:1的长宽比展示了XE系列原子力显微镜扫描浅沟道隔离样品的未处理图像，该样品的深度由扫描电子显微镜(SEM)确定。在成像20次之后，探针几乎有没任何磨损。