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OLS全自动3D激光测量系统

定制/自动化/智能化

由OLS5100激光扫描显微镜头部灵活搭载在定制测量系统中,在保证测试精度的同时,
实现定制化需求下

高质量数据的快速获取。


· 智能、简单易用
· 自动化CNC编程
· 定制化



功能特点


3D测量激光显微镜LEXT OLS5100

简化测量检测流程:

自动创建实验计划 / 数据自动填充 / /数据趋势可视化
简便的一键式操作:
智能扫描 / 便捷分析 / 分析模板
值得信赖的数据
LEXT 专用物镜 / 4K扫描技术 / 智能物镜选择

1. 高精度、快速测量系统

奥林巴斯MEMS扫描振镜能够实现具有较低扫描轨迹失真和较小光学像差的精 确X-Y扫描,采用0.78nm光栅及PEAK算法可在低倍率和高倍率下提供3D数据重建的快速、精准的测量结果。OLS全自动3D激光测量系统在获得彩色的图像、激光图像和3D形貌数据的基础上, 可以实现线粗糙度( ISO4287标准) 及面粗糙度(ISO25178标准)丰富数据的测量。奥林巴斯以基于可以追溯系统的显微镜保证准确度和重复性,让您对测量结果充满信心。

2. 实现测试流程智能控制,简单易操作
智能物镜选择助手通过三个简单的步骤即可为粗糙度选择合适的物镜,减少因错误选择物镜造成的实验时间浪费。基于Peak算法的快速扫描、针对台阶样品的跳跃式扫描及HDR扫描保证测试过程智能、精准、快速。从参数设置到数据采集过程的智能控制,操作简单。

3. 自动化CNC编程,提高测试效率
在一个样品中,通过移动电动载物台预先注册多个位置的坐标信息,显微镜可以连续自动获取多个位置的数据,连续测试相似形貌的样品时,可将电动载物台坐标系设定与样品匹配,实现高效率检测。相机视野内,检测目标自动搜索,提高测试精度和速度。可以调用宏工具,让整个测试工作流程实现自动化,多维度提高测试效率。

4. 满足多领域定制化服务
硬件定制化:
根据客户检测内容及工件大小灵活定制XYZ电动台及对应自动化方案。
软件定制化:
根据客户测试需求定制软件测量模块,可以实现批量的数据测试及数据上传功能,提高数据处理分析效率。





我们的定制解决方案支持多种样品规格:

12英寸硅晶圆

显示面板

汽车/机械零件

大型印制电路板(PCB)

电动汽车(EV)电池

太阳能电池